工業核心設備：日本樫山（KASHIYAMA）SDX1800 干式真空泵

1. 核心特性

• 無油干式設計：避免潤滑油污染介質，適配超潔凈工藝（如半導體晶圓加工）；

• 抽氣性能強勁：最大抽速 50,000 L/min，極限壓力低至 0.5Pa，可快速建立穩定真空環境；

• 節能低耗：運行功率僅 2.1kW，冷卻水需求僅 3.0L/min，降低長期運行成本；

• 靈活兼容：支持 0-80 SLM 氮氣吹掃調節，可與同系列 SDX/SDT/SDH 型號設備協同擴展；

• 小型化設計：外形尺寸 1050×515×950mm（長 × 寬 × 高），節省安裝空間。

2. 應用場景