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更新時間：2026-01-05
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| 參數 | 詳情 |
|---|---|
| 進氣口法蘭 | VG350 |
| 排氣速度 | N?：3400L/s（帶保護網 3200L/s）；H?：2600L/s |
| 大壓縮比 | N?：1×10?；H?：6×103 |
| 極限壓力 | ＜1×10??Pa（＜7.5×10??Torr） |
| 大 N?流量 | 543sccm（輔助泵 3000L/min 時） |
| 啟動 / 停止時間 | 啟動 10-15min；停止 25-30min |
| 允許背壓 | 270Pa/2Torr |
| 推薦前級泵 | 1500L/min |
| 潤滑油量 | 260mL |
| 安裝姿勢 | 垂直（±10°） |
| 重量 | 100kg |
| 適配控制器 | TC3213（單相 200-230VAC，功率 2200VA，輸出 360Hz，重 8.2kg） |
雙版本可選：有標準型與耐腐蝕性氣體的化學型，適配不同氣體環境。
結構堅固：耐受意外大氣沖擊與外部機械沖擊，工業環境適應性強。
智能互聯：支持串行通信，可遠程監控與數據采集，便于集成到自動化系統。
安全合規：滿足 NRTL/SEMI - S2 標準，保障半導體等精密制造場景的安全運行。
半導體制造、FPD 面板生產、電子槍 / 離子源排氣
表面處理與改性、電子部件制造、真空熱處理
加速器、核聚變研究等科研領域
管球、光學部件制造
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