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更新時間：2026-06-23
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ULVAC GLD-202AA 愛發科兩級油旋片真空泵
二、核心技術參數
參數項規格抽氣速率50Hz：200 L/min；60Hz：240 L/min極限真空（氣鎮關閉）0.67 Pa極限真空（氣鎮開啟）6.7 Pa電機功率550W 三相寬電壓電機（適配全球電壓）進氣口法蘭KF-25油箱油量1100 mL專用真空泵油ULVAC SMR-100整機重量29 kg外形尺寸W170 × L513.5 × H240 mm工作環境溫度7～40℃
兩級排氣結構，相比單級泵可獲得更高真空度；
內置油逆流防止機構，停電停機時防止真空腔倒灌油污；
強制供油系統，抽速長期穩定；
標配氣鎮閥（G.V.），可抽除含水蒸氣、溶劑的工況，避免油乳化；
低振動、低噪音，適合精密設備配套；
寬電壓三相電機，適配國內外 380/400/440V 等工業電源；
可視油位窗，拆裝維護簡便，標準化原廠維修套件可更換葉片、密封件。
半導體、濺射、真空鍍膜、蒸發設備前級泵
電子顯微鏡、分析儀器、激光系統配套
真空干燥、冷凍干燥機
實驗室真空腔體、脫泡、檢漏設備
化工、光學、精密制造真空機組
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